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最后,完成数据采集与重建后,研究团队通过原子位置追踪,成功检测到通道界面粗糙度——卡拉佩强称之为"鼠啮状缺陷"。这些缺陷产生于优化生长工艺过程中。在纳米电子研发中心imec制备的样品结构为成像方法验证提供了理想载体。
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